山东科学 ›› 2026, Vol. 39 ›› Issue (2): 108-112.doi: 10.3976/j.issn.1002-4026.2025180
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张力文(
)
ZHANG Liwen()
摘要：
氧化铟锡(ITO)靶材是制备透明导电薄膜的关键材料,其成型质量直接影响最终性能。传统成型方法在制备高密度、大尺寸坯体时易出现裂纹、密度不均等问题。凝胶注模成型技术因具有高固含量浆料原位固化、坯体强度高、结构均匀等优势,适用于高性能ITO靶材的制备。然而,甲基丙烯酰胺(MAM)体系在干燥过程中易发生开裂。为此,本研究系统探讨了单体/交联剂配比、浆料固含量与凝胶化温度对坯体成型质量的影响。结果表明,当单体质量分数1%、单体/交联剂比例为20、固体质量分数为80%、凝胶化温度为55~65 ℃时,可获得结构均匀、无裂纹的ITO靶材坯体。本研究为高性能ITO靶材的凝胶注模成型提供了可靠的工艺优化方案。
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