J4 ›› 2012, Vol. 25 ›› Issue (3): 58-61.doi: 10.3976/j.issn.1002-4026.2012.03.012
任现坤1,马玉英2,张黎明1,刘鹏1,姜言森1,徐振华1,贾河顺1,程亮1,张春艳1
REN Xian-Kun1, MA Yu-Ying2, ZHANG Li-Ming1, LIU Peng1, JIANG Yan-Sen1, XU Zhen-Hua1, JIA He-Shun1, CHENG Liang1, ZHANG Chun-Yan1
摘要：
折射率是反映薄膜成分以及致密性的重要指标, 是检验薄膜制备质量的重要参数，其变化直接影响太阳能电池的转化效率。本文研究了不同射频功率、腔体压强、衬底温度以及硅烷和氨气配比等沉积条件对在太阳能电池上沉积的氮化硅薄膜折射率的影响，分析了氮化硅薄膜折射率随各沉积条件变化的原因。
中图分类号:
O484.4+1
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