J4 ›› 2010, Vol. 23 ›› Issue (1): 28-31.

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Mn掺杂GaN纳米条的制备和性质的研究

 刘文军, 薛成山, 石锋, 庄惠照, 郭永福   

  1. 山东师范大学物理与电子科学学院半导体研究所
  • 收稿日期:2009-11-20 出版日期:2010-02-20 发布日期:2010-02-20
  • 基金资助:

    国家自然科学基金(90201025,90301002)

Fabrication, Morphology and Optical Properties of Mn-Doped GaN Nanobars

 LIU Wen-Jun, XUE Cheng-Shan, SHI Feng, ZHUANG Hui-Zhao, GUO Yong-Fu   

  1. Institute of Semiconductors, College of Physics and Electronics, Shandong Normal University
  • Received:2009-11-20 Online:2010-02-20 Published:2010-02-20

摘要:

通过在1000 ℃下氨化锰掺杂Ga2O3薄膜制备了大量GaMnN纳米条。采用此法得到的剑状Mn掺杂GaN纳米条是六方纤锌矿结构,Mn的原子百分比是5.43%,纳米条的厚度大约为100 nm,宽度为200~400 nm。X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、高分辨透射电子显微镜(HRTEM)、选区电子衍射(SAED)、X射线光电子能谱(XPS)和荧光分光光度计(PL)用于表征所制备纳米条形貌及光学性质。室温下以325 NM波长的光激发样品表面,发现由于Mn的掺杂使GaN的发光峰有较大的红移。最后,简单讨论了GaN纳米条的生长机制

关键词: GaN纳米条, Mn, 磁控溅射, 纳米结构

中图分类号: 

  • TN304.23

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